Photonique nitrure de silicium à faibles pertes pour l’optique non linéaire intégrée
Résultats présentés à la conférence SPIE Nanophotonics XI (Proc. SPIE 14076, mai 2026) Le nitrure de silicium (SiN) s’est imposé comme une plateforme majeure pour la photonique intégrée grâce à sa compatibilité avec les procédés de fabrication CMOS …
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