La plateforme de caractérisation multiphysique est une plateforme multi utilisateurs ouverte à la recherche, à l’enseignement et aux laboratoires ou industriels externes. Elle est pilotée par l’équipe MNOEMS et Instrumentation du département Micro systèmes et NanoBioFluidique (MNBF) en collaboration avec la plateforme PIMENT. Elle regroupe, dans une salle blanche ISO7 de 100m2 avec dalles et tables antivibratoires, plus d’une quinzaine d’équipements acquis, modifiés ou développés pour la caractérisation de procédés de microfabrication et de packaging, de films et de microdispositifs. Les équipements disponibles comprennent notamment :
- Des équipements de microscopie et d’imagerie optique : des microscopes visible, proche infrarouge ou UV profonds, un microscope photoélastique infrarouge en réflexion (images de biréfringence), un système de microthermographie moyen infrarouge, et un système d’inspection de défauts de de soudure de wafer par imagerie proche infrarouge en transmission.
- Des profilométres et/ou vibromètres optiques : Plusieurs profilométres-vibromètres plein champ de résolution verticale (sub)nanométrique avec différents champs de vue et longueurs d’ondes, un vibromètre laser Doppler différentiel à fibres monté sur microscope, un microscope stroboscopique avec traitement d’images subpixel pour la mesure des déplacements ou de vibrations nanométriques dans le plan de microstructures. Différentes enceintes sous vide et accessoires permettent des mesures sous pointes, en fonction de la pression ou de la température, etc.
- Des bancs de caractérisation mécanique de microstructures : sonde mécanique Femtotools, Bulge test, blade test, flexion 4 points miniature.
- Des système de caractérisation électrique en fonction de la température : un banc de mesure 4 pointes sous vide en fonction de la température et de l’atmosphère gazeuse (N2, 16O2, H2, D2, 18O2, air) et une station sous pointes cryogénique pour la mesure de piezorésistance (Flexion 4 points in situ de puces) ou de conductivité thermique (méthode 3 oméga).
Plus d’informations sur les caractéristiques des équipements peuvent être trouvées ici.
Microscopy and optical imaging
Optical profilometry and vibrometry
Mechanical characterization
Electrical characterization
