Centre for Nanoscience
and Nanotechnology

MN(O)EMS and Instrumentation Team

 

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L’équipe « MN(O)EMS et Instrumentation » développe en particulier des micro-dispositifs magnétiques et électromagnétiques, des micro/nano systèmes électromécaniques (MNEMS) et des micro-instruments optiques (MOEMS) qui trouvent des applications dans des domaines très variés tels que l’aéronautique, les systèmes nomades ou le domaine médical. Elle développe également des procédés d’assemblage et de packaging et, dans le cadre d’un laboratoire commun « Metro3D » avec la société Fogale Nanotech, des instruments de mesure optiques pour le contrôle industriel du packaging et des procédés d’intégration 3D.

Dans le domaine des capteurs physiques et des MNOEMS, le département s’intéresse aux capteurs et actionneurs hautes performances à forte valeur ajoutée devant fonctionner le plus souvent dans des environnements exigeants (haute/basse température, vide, liquide, in vivo,…). Les dispositifs étudiés exploitent des matériaux spécifiques et des technologies innovantes, le magnétisme ou l’électromagnétisme, des résonateurs mécaniques, ou/et des transductions thermomécaniques, électromécaniques ou/et optomécaniques. Les actions de recherche couvrent les différents stades de réalisation de capteurs et microsystèmes fonctionnels : conception, modélisation et simulations mutiphysiques ; intégration de « nouveaux » matériaux ; développement de procédés de micro/nano fabrication et d’assemblage en différentes technologies (semiconducteurs, polymères, métaux, verre) ; caractérisation et instrumentation ; packaging ; électronique et traitement du signal associés.

Ces travaux de recherche amont ou technologique s’appuient sur les moyens de micro/nano fabrication et de caractérisation de la centrale technologique et de la plateforme commune de métrologie mais aussi sur des équipements de technologie et des instruments de mesures développés dans le département ou mis à disposition par la société Fogale Nanotech.

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