40
ingénieur(e)s et technicien(ne)s
2 900 m²
de salles blanches
150
Equipements
> 300
projets de recherche en cours
La Centrale de Micro et Nano-Technologie du C2N
La Centrale de technologie du C2N est hébergée dans une salle blanche de 2 900 m², dédiée aux procédés de micro-nanofabrication, à la croissance, l'épitaxie et la caractérisation des matériaux. Des espaces sont également consacrés à la formation universitaire et permanente en micro-nanotechnologies, et 250m2 sont réservés aux activités de starts-ups ou PME. Ce sont en tout plus de 50 M€ investis dans des équipements de pointe pour les micro-nanotechnologies et 40 ingénieurs et techniciens rassemblés autour de 3 plateformes : PIMENT, POEM et PANAM.
La Centrale de technologie du C2N est un outil essentiel pour les études et recherches menées au laboratoire. Elle fait également partie du réseau RENATECH des grandes centrales de technologie piloté par le CNRS pour soutenir la recherche et l'innovation dans le domaine des micro-nanotechnologies au niveau national. La Centrale héberge ainsi plus de deux cent projets technologiques, dont près d’un quart sont portés par des laboratoires extérieurs, principalement académiques mais aussi industriels. L'expertise du C2N nous amène à accueillir des projets requérant l'épitaxie des matériaux, leur analyse chimique et structurale, et le développement de procédés et filières de micro-nanofabrication.
► Plaquette Centrale de Nanotechnologie
Plateforme d'Innovation en Micro Et Nano-Technologies
La plate-forme PIMENT propose un ensemble complet d'équipements à la pointe de la technologie et à hautes performances, permettant de développer des recherches allant de la physique quantique fondamentale aux dispositifs intégrés avancés ou aux micro-nanosystèmes. Son personnel soutient le développement des processus nécessaires aux activités de recherche en laboratoire.
La plate-forme a été organisée en quatre pôles principaux correspondant aux technologies clés : la lithographie, la gravure, le dépôt de couches minces et la mesure et le contrôle.
PlatefOrme d'Elaboration de Matériaux
La plateforme POEM héberge les équipements pour la croissance cristalline de films minces ou de nanostructures de semi-conducteurs IV et III-V, de matériaux bidimensionnels (2D) et d'oxydes fonctionnels. Les techniques mises en œuvre sont l'épitaxie par jets moléculaires (MBE), l'épitaxie en phase vapeur aux organométalliques (MOVPE), le dépôt en phase vapeur CVD) à basse pression ou sous ultra-vide (UHV-CVD), le dépôt par ablation laser (PLD) et le dopage par fusion laser sous immersion gazeuse (GILD).
La plateforme développe une grande variété de structures telles que des boites quantiques III-V, des nanofils de GaN, des microcavités et des gaz d’électrons bidimensionnels (2DEG) pour des études de transport, nanoélectronique et de photonique. Les diverses hétérostructures sont conçues et réalisées pour les activités de recherche des équipes du C2N mais aussi pour celles d'équipes extérieures au laboratoire, dans le cadre de projets régionaux, nationaux ou internationaux. La plateforme développe également des projets instrumentaux visant à diversifier l'offre de matériaux ou de combinaisons de matériaux et à permettre des analyses in situ pour explorer les mécanismes de croissance.
Plateforme d'ANalyse des Matériaux
La plateforme PANAM héberge des équipements et des savoir-faire en analyse structurale et chimique. Les ressources utilisées sont la diffraction des rayons X, la microscopie électronique à transmission avancée, la cathodoluminescence et la microscopie à force atomique.
Des analyses structurales (cristallines et morphologiques) et chimiques à l'échelle atomique sont effectuées pour comprendre les mécanismes de croissance des nanostructures et corréler leurs propriétés structurelles à leurs propriétés fonctionnelles (électronique, optique, magnétique). La cathodoluminescence permet de sonder les propriétés optiques des nouvelles nanostructures à l'échelle nanométrique. Les études sont menées en contact étroit avec les équipes de recherche du C2N et d'autres laboratoires partenaires académiques et industriels.
