
Caractérisation par mesure électrique et par faisceaux d'ions de l'oxydation de films getter d'yttrium et de titane-yttrium
Des films minces getter d'yttrium, de titane et de titane-yttrium ont été co-évaporés sous ultravide sur silicium. Les films Y-Ti ont des cristallites de taille nanométrique (18-35 nm) et donc une très haute densité de joints de grains, ce …
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