
Fabrication d'un micro-nageur hélicoïdal 3D sur puce par micromanipulation AFM pour des applications microfluidiques
La fabrication de microsystèmes basés sur des microstructures tridimensionnelles complexes nécessite des étapes critiques telles que les calibrages de masse et le processus d'intégration. Cependant, ces étapes impliquent plusieurs manipulations qui ne sont pas bien contrôlées, ce qui peut …
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