Plateforme Instrumentation et sources d’ions

 

Nés avec le Laboratoire de microstructures et de microélectroniques (L2M-CNRS) de Bagneux dans les années 1990, les efforts de R&D sur les sources d'ions à métal liquide ont été méthodiquement poursuivis et renforcés en rassemblant autour de la Plateforme Instrumentation et Sources d'Ions du C2N une équipe compacte qui attire les meilleurs experts mondiaux par le biais de collaborations. L'équipe est désormais reconnue comme un leader dans le domaine de l’invention, du développement et de l’application de solutions instrumentales à la nanofabrication par faisceaux d’ions focalisés (Focused Ion Beams).

L'équipe a construit une installation unique (lire l'encart ci-dessous "FIB Nanowriter") en termes d'ingénierie pour le test et l'étude de la physique des émetteurs d'ions de forte brillance et leurs applications à la nano-écriture directe. L'objectif de recherche applicative est l'exploration de la performance ultime réalisable à l'aide d'un pinceau d'ions focalisé. La beauté de l'approche réside dans le fait qu’elle permet : des applications automatisées «sans imagerie», une fabrication de grands motifs continus, et une superposition sur motifs existants ou une métrologie par interférométrie laser pure.

Plus récemment, l'équipe a lancé un programme de collaboration avec le Centre National d’Etudes Spatiales (CNES) sur les propulseurs ioniques-liquides (ILT) qui exploitent la même physique de base à partir d’un sel liquide sûr et non toxique. Cette source, de la même manière qu'une source LMIS (Liquid Metal Ion Source), émet des ions émis par le champ qui, une fois éjectés à une vitesse élevée, produisent une poussée.

  Membres

GIERAK Jacques - Ingénieur de recherche CNRS (Responsable)

RAYNAUD Gilles - Maître de Conférences Université Paris-Sud

LEPESANT Mathieu - Post-Doctorant CNES

GUIGAL Baptiste - Elève Ingénieur Polytech

EUDELINE Yannick - Stagiaire IPSA

 

Le FIB Nanowriter

La Plateforme Instrumentation et Sources d'ions du C2N a inventé avec la société Raith GmbH l’architecture FIB Nanowriter (contrats industriels depuis 2002).

Lire l'actualité à propos de l'accord de coopération avec la société Raith établit en 2017 (en anglais) : C2N and Raith continue cooperation over advanced FIB nanofabrication technologies

 

Ci-contre : schéma de principe du FIB Nanowriter / cliché en microscopie électronique d'un nanopore percé dans un feuillet de graphène auto supporté. © C2N